當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-Ⅲ-R5-PECVD1200℃三溫區(qū)PE粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)
•爐體在0-25°內(nèi)傾斜,有利于粉末樣品的裝卸;
•齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;
•四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;
•配備自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集。
加熱爐參數(shù):
三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐
•最高溫度:1200℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1100℃;
•三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;
•輸入功率:208-240V,單相,最大功率:4KW;
•高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗;
•回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:2-10rpm;
•爐體開啟式設(shè)計(jì)以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫,方便更換爐管。
射頻電源:
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達(dá)10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•電壓:208-240V,AC,50/60Hz;
•氣體進(jìn)出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;
•PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸和重量:
•設(shè)備尺寸:2800mmL'800mmW'1700mmH
•供氣系統(tǒng):600mmL'700mmW'700mmH
•凈重:180kg
承諾:
一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件